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特長■ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。■モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。■2段式は2回の吸入圧縮排気により1段式より良い真空が得られます。用途■理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。■真空排気装置、電子顕微鏡のバック。■半導体製造装置。■真空蒸着装置、凍結乾燥器。■医療用機器全般。仕様■排気速度(L/min)50/60Hz:5/6■到達圧力(Pa):6.7■吸気口径(mm):12■電源(V):単相100■寸法(mm):130×203×159.5■騒音値(dB):-■吸気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ6■サーマルプロテクタ付■使用油:SMR-100■排気速度50/60Hz(L/min):5/6■吸気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ6■最大寸法(mm):130(W)×203(L)×159.5(H)※油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。※停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。※大気圧近くでの連続運転には不適当です。

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